Современные войска РХБЗ состоят из подразделений и частей, выполняющих задачи по радиационной, химической и неспецифической биологической разведке, дезактивации, дегазации и дезинфекции вооружения, обмундирования, других материальных средств и местности. В них также входят подразделения, предназначенные для применения огнеметно-зажигательных средств и маскирующих дымов.
Официальной датой образования войск радиационной, химической и биологической защиты (РХБЗ) считается 13 ноября 1918 года, когда приказом Революционного Военного Совета республики № 220 были образованы первые органы и подразделения химической защиты в действующей армии. В августе 1992 года химические войска получили свое современное название, а в 2006 году по Указу Президента Российской Федерации был установлен памятный день — День войск радиационной, химической и биологической защиты.
Военные химики появились в русской армии еще в период Первой мировой войны. Первым учреждением Красной Армии, занимавшимся вопросами противохимической защиты, был Особый химический отдел (9 отдел) Главного артиллерийского управления рабоче-крестьянской Красной Армии. Он был образован летом 1918 года и занимался вопросами учета и хранения военно-химического имущества, оставшегося от старой русской армии.
Особенно широкое применение и развитие получили химические войска в годы Великой Отечественной войны: 88 соединений и частей химических войск были удостоены государственных наград и почетных наименований, 21 человек — звания Героя Советского Союза.